技術編號：7221400
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及，尤其是一種利用半導體 制造工藝，以低成本制作納米間隙和納米間隙傳感器的簡單方法，使納米間隙的位置和 寬度容易調(diào)整。背景技術一般而言，納米間隙可用于電極，由此納米間隙可以被用來研究納米級結構的電 學特性，或者被用作傳感器，以便測量化學材料或生物材料中的微量。尤其，在測量分 子水平的電學特性變化時，必需使用納米間隙。最近， 一種利用電遷移現(xiàn)象在金屬絲預定位置形成間隙的方法(Appl. Phys. Lett 75, 301), —種利用電子束光刻制作...
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