技術(shù)編號(hào)：7217889
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種熱處理設(shè)備和一種使用該熱處理設(shè)備制造半導(dǎo)體器件的方法。具體地，本發(fā)明涉及一種用于采用來自例如照明燈的光源的輻射對(duì)受處理襯底(subject substrate)進(jìn)行加熱的熱處理設(shè)備，并且一種使用該熱處理設(shè)備的制造半導(dǎo)體器件的方法被應(yīng)用于采用具有晶態(tài)結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體膜的半導(dǎo)體器件。背景技術(shù) 熱處理是用于激活添加到半導(dǎo)體中的雜質(zhì)并且用于形成半導(dǎo)體和電極之間的接觸所需要的一種工藝。具體地，已知一種熱壁型(hot-wall type)水平或垂直退火爐是一...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。