技術(shù)編號(hào)：72157
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種光刻投射裝置，包括具有輻射源的照射系統(tǒng)，用于產(chǎn)生輻射的投射光束；支撐結(jié)構(gòu)，用于支撐構(gòu)圖部件，該構(gòu)圖部件通過(guò)投射光束照射而對(duì)所述投射光束構(gòu)圖；基底臺(tái)，用于固定基底；背景技術(shù)投射系統(tǒng)，設(shè)置和安排為將構(gòu)圖部件的照射部分成像在基底的靶部上。這里使用的術(shù)語(yǔ)“構(gòu)圖部件”應(yīng)廣意地解釋為能夠給入射的輻射束賦予帶圖案的截面的部件，其中所述圖案與要在基底的靶部上形成的圖案一致；本文中也使用術(shù)語(yǔ)“光閥”。一般地，所述圖案與在靶部中形成的器件的特殊功能層相應(yīng)，如集成電路或者其它器件(如下文)。這種構(gòu)圖部件的示例包括掩...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。