技術(shù)編號(hào)：7215253
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件的制造技術(shù)，更具體而言涉及用于半導(dǎo)體器件的電感器(inductor)及其制造方法，其可以通過減小電感器的相鄰金屬線之間的寄生電容擴(kuò)展電感器的可用頻帶。背景技術(shù) 通常，電感器是構(gòu)成射頻(RF)發(fā)送/接收電路的一種元件，基本上用于RF器件和模擬器件，電感器隨著無線通信市場(chǎng)的發(fā)展已經(jīng)得到廣泛的使用。電感器通常形成為螺旋形結(jié)構(gòu)。這種具有螺旋形結(jié)構(gòu)的電感器的缺點(diǎn)在于由于電感器的金屬線之間的寄生電容，該電感器的自諧振頻率降低。通常，隨著頻率增大，電...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。