技術(shù)編號：7213798
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種小尺寸和高靈敏度的位移檢測器件，它適用于加速度傳感器、壓力傳感器、陀螺傳感器等，這種位移檢測器件由半導體制造技術(shù)制造，特別是，本發(fā)明涉及包括位移檢測元件的位移檢測器件，所述位移檢測元件具有柔性可變形部分和IC芯片。背景技術(shù) MEMS(微型機電系統(tǒng))技術(shù)已經(jīng)廣泛地應(yīng)用于各個領(lǐng)域，這種技術(shù)通過組合半導體制造工藝技術(shù)與機械加工技術(shù)和/或材料技術(shù)而在半導電襯底上制造具有機械功能和電功能的固體精細結(jié)構(gòu)。特別是，它已經(jīng)適用于小尺寸和高靈敏度傳感器領(lǐng)域，如...
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