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半導(dǎo)體器件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7212604

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件以及制造該半導(dǎo)體器件的方法。更具體地,本發(fā)明涉及具有鐵電電容器的半導(dǎo)體器件以及制造該半導(dǎo)體器件的方法。背景技術(shù) 使用鐵電電容性元件(鐵電電容器)作為存儲(chǔ)電容性元件的鐵電隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(FeRAM)是一種非易失存儲(chǔ)器件,其具有下列特性。即,能夠高速運(yùn)行、能耗低以及寫入和讀取耐久性優(yōu)異。在這種FeRAM元件的制造過(guò)程中,通常要進(jìn)行鐵電物質(zhì)的連續(xù)性測(cè)試或鐵電物質(zhì)的電位反轉(zhuǎn)(potential inversion)測(cè)試以檢查異常的存在。另一...
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