技術編號：7209043
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明的設備的實施例關于一種用于基板的紫外線處理中的微波反射器。 背景技術在集成電路、顯示器及太陽能面板的制造中，需將介電材料、半導體材料及導電材料的層形成于諸如半導體晶圓、玻璃面板或金屬面板的基板上。接著處理此等層以形成諸如電互連、介電層、柵極及電極的特征結構。在隨后工藝中，可用紫外線輻射來處理形成于基板上的層或特征結構。紫外線輻射具有小于500nm的波長，例如IOnm至500nm。紫外線輻射可用于快速熱處理(RTP)中以快速地加熱形成于基板上的層。紫外...
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