技術(shù)編號(hào)：7208979
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明的實(shí)施例關(guān)于真空腔室中的開口的選擇性密封。更具體而言，是關(guān)于真空傳送腔室中的開口的選擇性密封。背景技術(shù) 在平面顯示器、太陽能電池陣列及其它電子裝置的制造中，用于大面積基板的半導(dǎo)體處理包含諸如沉積、蝕刻與測(cè)試等處理，且傳統(tǒng)上是在真空處理腔室中執(zhí)行這些處理。 為了提升制造效率以及降低制成基板最終用途的制造成本，現(xiàn)行的大面積基板約2200mm X 約2600mm或更大。典型通過傳送腔室將基板傳入或傳出真空處理腔室，該傳送腔室的功能是作為大氣/真空界面并且...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。