技術(shù)編號(hào):7207304
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及可應(yīng)用于液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平面面板顯示器(顯示裝置)、 ULSI (超大規(guī)模集成電路)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)、FET(場(chǎng) 效應(yīng)型晶體管)、二極管等半導(dǎo)體裝置的配線結(jié)構(gòu),薄膜晶體管基板及其制造方法,以及顯 示裝置,特別涉及作為配線材料含有純Cu或Cu合金的Cu系合金膜的新型配線結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)液晶顯示器等有源矩陣型液晶顯示裝置以薄膜晶體管(Thin Film Transi...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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