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從廢棄的晶片鋸切漿回收硅和碳化硅的方法和設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7206707

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本發(fā)明涉及在微電子(ME)和光伏(PV)工業(yè)中從晶片切割或鋸切操作過程中產(chǎn)生 的廢棄的漿液回收硅和含硅化合物的方法和系統(tǒng)。本發(fā)明涉及可以產(chǎn)生多種有用的產(chǎn)品 (包括高純度或增加純度的顆粒硅產(chǎn)品)的方法和系統(tǒng)。該產(chǎn)品(例如,高純度或增加純度 的顆粒硅產(chǎn)品)可以適于多晶錠鑄或替代電子級(jí)硅(EG-Si)用于PV應(yīng)用中的單晶生產(chǎn),和 /或用于高效單晶太陽能電池中。其他產(chǎn)品可以包括精細(xì)碳化硅研磨粉和在晶片鋸切過程 中再利用的相關(guān)載體液體。背景技術(shù)由于包括高油價(jià)和政府解...
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