技術編號：7206308
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于光刻設備的真空室中的機器人。 背景技術光刻設備是一種將所需圖案應用到襯底或襯底的一部分上的機器。例如，可以 將光刻設備用在平板顯示器、集成電路(ICs)以及包含精細結構的其他裝置的制造中。 在傳統(tǒng)的設備中，光被引導到圖案形成裝置，圖案形成裝置可以指的是掩模、掩模版、 單獨可編程陣列或可控元件陣列(無掩模)或其他裝置。圖案形成裝置可以用于生成與 IC、平板顯示器或其他裝置的單層對應的電路圖案。通過成像到提供到襯底上的輻射敏 感材料(例如，抗...
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