技術(shù)編號(hào)：7206164
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及功率分配器并且特別涉及用于差動(dòng)功率分配的功率分配器。在第一方 案中，本發(fā)明提供寬帶無源的N分功率分配器，其可以有利地用于給等離子體源中的多個(gè) 電極提供功率。背景技術(shù)為了利用單個(gè)RF(射頻)功率源來給等離子體源中的多個(gè)電極供應(yīng)能量，需要將 功率分配到多個(gè)通道內(nèi)。在交流電極相互180度異相的等離子體源拓?fù)淝闆r中(如PCT/ EP2006/062261中所述，該申請(qǐng)內(nèi)容通過引用合并于此)，每個(gè)電極可以與其相鄰電極異 相，這樣，能夠提供推挽對(duì)(push-...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。