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晶閘管管芯結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7204417

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本實用新型涉及一種半導體器件,尤其涉及一種晶閘管。 背景技術(shù)傳統(tǒng)焊接式晶閘管管芯的制造是采用“雙擴散_鍍鎳法”,通過將經(jīng)過硼擴散(一 次擴散)和磷擴散(二次擴散)的單晶硅片,表面進行化學鍍鎳,使之可以實現(xiàn)可焊接特 性,再通過搪鉛,將單晶硅片與同樣經(jīng)過化學鍍鎳的鉬片焊接在一起,在經(jīng)過常規(guī)的磨角、 表面腐蝕等工藝處理后,形成可焊接的晶間管管芯,僅僅適用于焊接式晶間管封裝制造,此 法的優(yōu)點在于由于管芯中的核心部分抓單晶硅片,其表面經(jīng)過化學鍍鎳處理后,可以順利 引...
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