技術(shù)編號(hào)：7189320
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。集成電路堆疊電容器本實(shí)用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及集成電路堆疊電容器。背景技術(shù)集成電路制造領(lǐng)域中，電容是不可或缺的基本元件之一。為了降低集成電路的幾何尺寸，提高單位面積上的電容值，尤其需要研發(fā)結(jié)構(gòu)緊湊的電容結(jié)構(gòu)。 堆疊(stack)電容是目前電容結(jié)構(gòu)發(fā)展中產(chǎn)生的一種典型的緊湊型電容結(jié)構(gòu)。附圖1是現(xiàn)有技術(shù)中一種集成電路堆疊電容器10的結(jié)構(gòu)示意圖，包括襯底100和設(shè)置于襯底100表面的第一主極板110、第二主極板120和第三主極板130，還包括設(shè)置于第...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。