技術(shù)編號(hào):7189273
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光投射處理設(shè)備,包括輻射系統(tǒng),用于提供波長(zhǎng)為250nm或以下的電磁射線(xiàn)投射線(xiàn)束;支撐構(gòu)件,用于支撐構(gòu)圖裝置,構(gòu)圖裝置用于按規(guī)定的圖形對(duì)電磁射線(xiàn)投射束構(gòu)圖;襯底臺(tái),用于固定襯底;投射系統(tǒng),用于將已構(gòu)圖的電磁射線(xiàn)投射束投射到襯底的目標(biāo)部分。背景技術(shù) 本文中用的術(shù)語(yǔ)“構(gòu)圖裝置”從廣泛的描述而言,是指賦予入射的射線(xiàn)束的橫截面圖形的裝置,該圖形對(duì)應(yīng)在襯底的目標(biāo)部分要構(gòu)成的圖形;本文中還用了術(shù)語(yǔ)“光閥”。通常,所述的圖形應(yīng)對(duì)應(yīng)目標(biāo)部分中要形成的,諸如集成電路...
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