技術(shù)編號：7187677
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種靜電驅(qū)動器(actuator)及使用該驅(qū)動器的靜電微動繼電器(microrelay)等其他設(shè)備，特別是涉及一種具有帶電量控制結(jié)構(gòu)的靜電驅(qū)動器，和使用該驅(qū)動器的靜電微動繼電器、無線裝置、測量裝置、便攜信息終端裝置。可動基板3是從Si基板加工而得，由4根彈性梁12支撐的可動電極13位于中央部，在可動電極13的下面中央部，通過絕緣層14設(shè)有可動接點(diǎn)15。在可動基板13的下面周邊部突出有固定塊16，利用固定塊16把可動基板3固定在固定基板2上表面上，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。