技術(shù)編號：7185657
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及主要用于夾持和保護硅片及其相似物進行單面處理的裝置， 具體為一種用于單面處理的夾持與保護裝置。 背景技術(shù)在過去的數(shù)年中，微電子集成電路制造技術(shù)取得了許多顯著的進步，從而生 產(chǎn)出功能更多、價格更便宜的電子器件，推動這種進步的一個主要因素是新的集 成電路制造設(shè)備和相應(yīng)的制造技術(shù)的實用新型，微電子器件的制備通常需要非常 精確的控制、非常純的材料和非常潔凈的制備環(huán)境，甚至亞^^級的顆粒所產(chǎn)生 的缺陷，從而導(dǎo)致整個微電子器件的失效。微電子器件一般在硅片...
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