技術(shù)編號：7185263
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種等離子體處理裝置。 背景技術(shù)例j口、曰本凈爭開2002_184761號7>才艮(專利文獻l) />開 了 一種以往的等離子體處理裝置。該公報所公開的等離子體處 理裝置包括用于對晶圓實施等離子體處理的室、向室供給高頻 電壓的匹配盒、和用于使匹配盒升降的升降驅(qū)動裝置。另外， 室和匹配盒是通過使分別與它們相連接的端子互相嵌合而電連 接起來的。專利文獻l曰本凈爭開2002-184761號/>才艮 在上述結(jié)構(gòu)的等離子體處理裝置中，...
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