技術編號：7183613
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及功率半導體器件領域，是關于一種適用于高壓應用的超結橫向雙擴散半導體金屬氧化物晶體管的結構。 背景技術隨著節(jié)能需求日益增強，功率集成電路產品的性能越來越受到關注，其中電路的 功率損耗無疑是最為主要的性能指標之一。決定功率集成電路功率損耗大小的因素除了功 率集成電路本身電路結構、設計之外，電路所采用的制造工藝，所采用的功率器件性能便是 功率集成電路功率損耗大小的關鍵。 目前，依據功率集成電路的制造工藝主要分為基于體硅、外延和絕緣體上硅 (SOI)。其...
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