技術(shù)編號:7182390
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件領(lǐng)域,尤其涉及一種NMOS器件及其制作方法。 背景技術(shù)NMOS器件分為使用了 PIPToly-Isolator-Poly)電容器和未使用PIP電容器兩 種,使用PIP電容器的NMOS的傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)為圖1所示。參照圖1,通常NMOS部分的下方為 柵氧層(Gate Oxide) 1,PIP電容器部分的下方為場氧層2 (FieldOxide) 2,NM0S部分的場氧 層2則用于不同器件間的隔離。NMOS部分的柵極3和PIP電容器部分的下極板4在...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。