技術(shù)編號：7181527
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種環(huán)形容器，特別是一種用以容納諸如半導(dǎo)體之類的盤形物件的、旋轉(zhuǎn)式托架的環(huán)形容器。在下文提及的半導(dǎo)體或晶片的范圍內(nèi)，此概念包括所有類型的CD或磁盤之類的盤形物件。背景技術(shù) 眾所周知，在加工盤形半導(dǎo)體，例如蝕刻硅盤(晶片)，中，把半導(dǎo)體放置在旋轉(zhuǎn)式托架(吸盤)上，可能會使用各種不同的酸。一種處理用的液體，例如一種酸，被施放到待處理的半導(dǎo)體的表面上。由于半導(dǎo)體的旋轉(zhuǎn)運動，此蝕刻用的液體將其本身散布在此表面上，并且使液體橫向(徑向)加速，直達半導(dǎo)體的邊...
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