技術(shù)編號(hào):7178692
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)(Micro Electro Mechanical SystemMEMS)裝置。背景技術(shù) 現(xiàn)在,MEMS正被廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。如果在RF(RadioFrequency射頻)開(kāi)關(guān)中應(yīng)用該MEMS,則能夠得到可以降低傳送損耗、且可以提高斷開(kāi)狀態(tài)下的絕緣性這樣的良好性能。圖12示出了靜電驅(qū)動(dòng)型RF-MEMS(射頻-微機(jī)電系統(tǒng))開(kāi)關(guān)的示意性構(gòu)成。如圖12所示,該RF-MEMS開(kāi)關(guān)11的構(gòu)成是在2個(gè)靜電電極11a、11b之間設(shè)置可動(dòng)接觸子11c...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。