技術(shù)編號(hào)：7174707
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種制造絕緣柵場效應(yīng)晶體管的方法。特別是本發(fā)明涉及一種制造能夠被應(yīng)用到具有柵重疊結(jié)構(gòu)的薄膜晶體管(TFT)的半導(dǎo)體器件的方法。背景技術(shù) 使用液晶的顯示器已在以液晶顯示TV為代表的20英寸或更大的屏幕中投入實(shí)際應(yīng)用。最近幾年，實(shí)現(xiàn)了集成有包含其中用多晶硅膜作為有源層的TFT的驅(qū)動(dòng)電路的的液晶顯示器件。但是，存在一個(gè)問題，即使用多晶硅膜的TFT導(dǎo)致漏結(jié)耐壓性降低。這導(dǎo)致結(jié)漏電流(此后稱為OFF-漏電流)增加。已經(jīng)知道輕摻雜區(qū)(LDD)對(duì)減少OFF-漏...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。