技術(shù)編號：7171906
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種，屬半導(dǎo)體傳感器氣敏元件制造工藝。近年來微細加工技術(shù)研究領(lǐng)域取得了很大進展，制備量子點、量子線，以及具有量子效應(yīng)的量子器件的研究受到深入的研究。但是，量子效應(yīng)一般在納米尺度才會產(chǎn)生，而采用常規(guī)技術(shù)加工制備尺度在10nm以下的納米尺度器件，目前仍然存在很多技術(shù)困難。因此，一些新的納米尺度加工技術(shù)，例如掃描探針顯微鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)受到研究者的重視。AFM微細加工技術(shù)的原理，是在探針和樣品之間加上陽極電壓，在水分子存在的條件下，...
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