技術(shù)編號(hào)：7170467
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路，特別涉及一種用于集成電路金屬互連的可靠性測(cè)試或MEMS電極層的結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)集成電路antegrated Circuit, IC)按照摩爾定律的演進(jìn)，集成度不斷提高，特征尺寸不斷減小。而隨著特征尺寸的不斷縮小，后段工藝(Back End of Line, BEOL)中金屬互連線的可靠性也面臨著越來越嚴(yán)峻的考驗(yàn)?，F(xiàn)有技術(shù)中，蛇形/叉形(Meander/i^ork)結(jié)構(gòu)是常用的檢驗(yàn)金屬互連線可靠性的結(jié)構(gòu)。請(qǐng)參考圖1，其為蛇形/叉形(Mean...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。