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一次性可編程存儲(chǔ)單元及制造方法、半導(dǎo)體器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7169812

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,具體涉及一次性可編程存儲(chǔ)單元及制造方法、半導(dǎo)體器件。背景技術(shù)目前比較流行的系統(tǒng)集成芯片或微處理芯片,都需要一個(gè)存儲(chǔ)器來儲(chǔ)存系統(tǒng)代碼,由于邏輯和存儲(chǔ)器的制作流程差異很大,傳統(tǒng)的方式是在邏輯制程中引入只讀存儲(chǔ)器(R0M,在本發(fā)明中,所述的只讀存儲(chǔ)器僅指不能編程的只讀存儲(chǔ)器,即掩膜只讀存儲(chǔ)器)。但是只讀存儲(chǔ)器的制作需要在晶圓流片的過程中就要定義,一定程度上制約了系統(tǒng)編碼的靈活性。而且,對(duì)于只讀存儲(chǔ)器,每一次不同的編碼需要不同的掩膜版。在...
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