技術(shù)編號(hào)：7167303
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及一種，更具體而言， 涉及一種具有三維(3D)結(jié)構(gòu)的，在所述非易失性存儲(chǔ)器件中沿著從襯底垂直突出的溝道形成存儲(chǔ)器單元。背景技術(shù)非易失性存儲(chǔ)器件即使在電源被切斷的情況下也能保留其中所儲(chǔ)存的數(shù)據(jù)。目前，廣泛使用了各種非易失性存儲(chǔ)器件，諸如快閃存儲(chǔ)器。隨著在硅襯底之上制成單層的二維存儲(chǔ)器件的集成度的提高達(dá)到極限，引入了通過沿著從硅襯底垂直突出的溝道層疊多個(gè)存儲(chǔ)器單元而制成的三維非易失性存儲(chǔ)器件。圖1是說(shuō)明一種三維非易失性存儲(chǔ)器件的截面圖。參...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。