技術(shù)編號：7165617
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光電信息，更具體的是一種垂直結(jié)構(gòu)LED芯片襯底的襯底剝離的制作方法。背景技術(shù)在LED芯片的制作工藝中，在藍(lán)寶石襯底上形成氮化鎵層的異質(zhì)外延技術(shù)為現(xiàn)金成熟的外延技術(shù)，但是藍(lán)寶石襯底作為不導(dǎo)電襯底，阻礙了大功率大電流芯片的發(fā)展。在氮化物系的半導(dǎo)體元件中，大多采用藍(lán)寶石作為襯底。由于藍(lán)寶石是絕緣體， 而且在其表面開孔也比較困難。在使用藍(lán)寶石作為襯底的時候，藍(lán)寶石上生長的發(fā)光元件的兩個電極必須在同側(cè)，這樣不僅有效的發(fā)光面積會減少，而且同一表面有兩個電極，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。