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在藍(lán)寶石圖形襯底上外延生長(zhǎng)氮化物外延膜的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7165008

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體光電,特別是指一種在藍(lán)寶石圖形襯底上外延生長(zhǎng)高質(zhì)量氮化物外延膜的方法。背景技術(shù)氮化鎵(GaN)基LED作為固態(tài)光源一經(jīng)出現(xiàn)便以其高效、長(zhǎng)壽命、環(huán)保等優(yōu)點(diǎn),被譽(yù)為繼愛(ài)迪生發(fā)明電燈后人類(lèi)照明歷史上的第二次革命,成為國(guó)際上半導(dǎo)體和照明領(lǐng)域研發(fā)和產(chǎn)業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。但目前GaN基LED進(jìn)入通用照明領(lǐng)域,在技術(shù)和成本是還面臨諸多難題。目前藍(lán)寶石襯底是商業(yè)上氮化物異質(zhì)外延生長(zhǎng)最為常用的襯底之一。采用圖形化藍(lán)寶石襯底可以增加光在LED內(nèi)部的全反射,進(jìn)而提高L...
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