技術編號:7162463
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體器件,特別涉及一種。 背景技術半導體整流二極管(簡稱整流二極管、二極管)是一種應用非常普遍的電子器件。 整流二極管通常由管芯(又稱為晶粒)、引線和包覆層構成,其中具有相應功能作用的是管芯,確切地說是PN結。傳統(tǒng)的制造整流二極管晶粒的方法包括芯片擴散、鍍鎳、切割裂片、臺面腐蝕、檢測包裝等工序。工藝流程如下1、芯片選型一般硅基整流二極管都是以N-型單晶硅作為基礎材料。2、芯片擴散在N-型單晶硅片上通過紙源或水源涂覆在硅片的兩面分別擴散5價雜質和...
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