技術編號：7159981
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是有關于一種薄膜的制造方法及開關組件，且特別是有關于一種低溫多晶硅薄膜的制造方法及低溫多晶硅薄膜晶體管。背景技術 在一般組件中，都需配置開關以驅(qū)動組件的運作，就顯示組件來說，這些開關的配置可分為主動矩陣式與被動矩陣式兩大類型，由于主動矩陣式的配置方式具有可連續(xù)發(fā)光以及低電壓驅(qū)動等優(yōu)點，所以近年來此種配置方式大幅地被應用于顯示組件中。在主動矩陣式的顯示組件中，其開關可以是薄膜晶體管(thin film transistor)或薄膜二極管等，以薄膜晶體管...
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