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半導(dǎo)體器件及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7159690

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的飛速發(fā)展,半導(dǎo)體器件為了達(dá)到更快的運(yùn)算速度、更大的資料存儲(chǔ)量以及更多的功能,半導(dǎo)體芯片向更高集成度方向發(fā)展。而半導(dǎo)體芯片的集成度越高,半導(dǎo)體器件的特征尺寸(⑶,Critical Dimension)越小。MP3、移動(dòng)電話、數(shù)碼相機(jī)這些對(duì)存儲(chǔ)要求越來(lái)越苛刻的產(chǎn)品,正尋求更小的封裝尺寸和更高的存儲(chǔ)密度。高端處理器也要求數(shù)據(jù)進(jìn)出存儲(chǔ)器的速度更快。為適應(yīng)對(duì)性能和存儲(chǔ)密度的要求,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已從2D ...
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