技術(shù)編號：7157255
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造測試系統(tǒng)，尤其涉及一種離子注入機(jī)晶片傳輸疲勞度測試的方法。背景技術(shù)離子注入機(jī)是一種通過引導(dǎo)雜質(zhì)注入半導(dǎo)體晶片，從而改變晶片的傳導(dǎo)率的設(shè)備，其中晶片傳輸系統(tǒng)的穩(wěn)定性直接關(guān)乎設(shè)備的生產(chǎn)效率以及企業(yè)的效益，因此一套行之有效的晶片傳輸疲勞度測試方法就至關(guān)重要，在前期的“馬拉松”式流片疲勞度測試中，只有盡可能地把所有問題都暴露出來，才能給客戶一個穩(wěn)定安全的設(shè)備。鑒于晶片傳輸疲勞度測試的重要性，如何開發(fā)出一套系統(tǒng)全面的晶片傳輸疲勞度測試系統(tǒng)...
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