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帶有嵌入式偽柵電極的二極管的制作方法技術資料下載

技術編號:7157079

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本公開大體上涉及了一種半導體器件,尤其涉及帶有偽柵電極的二極管。背景技術在輸入/輸出(IO)電路中,為了保護靜電放電(ESD)需要占用很大芯片區(qū)域的大型二極管。對于ESD 二極管而言,釋放ESD電流的能力部分地由二極管的尺寸決定。因此,二極管被設定得盡可能的大。而且,根據(jù)設計規(guī)則,二極管的陽極和陰極的尺寸會影響直接處在相應的陽極和陰極上的金屬線的寬度。因此,為了使直接位于二極管上的金屬線獲得良好的電子遷移性能而實現(xiàn)持久耐用的ESD性能,二極管被設計成具有寬...
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