技術編號：7157001
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明設計一種清洗裝置，尤其涉及一種智能全自動半導體清洗裝置。背景技術目前的集成電路晶圓清洗機分為全自動清洗機和手動清洗機，其中全自動晶圓清洗機和本發(fā)明的技術特征比較接近。全自動晶圓清洗機主要由上料臺、清洗部分、移載機械手、旋轉機構、抽風系統(tǒng)及電控系統(tǒng)組成。此設備是一個全自動的處理設備，由10. 4寸大屏幕觸摸屏進行顯示、檢測、操作，整個清洗過程由PLC進行控制。全自動晶圓清洗機的基本動作包括I.待處理工件裝籃放于上料臺上，通過鏈條傳送，經由上料位置上料。...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。