技術編號:7156217
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及抑制暗電流產生的固態(tài)成像裝置及其制造方法以及成像設備。 背景技術由CXD(電荷耦合器件)和CMOS圖像傳感器形成的固態(tài)成像裝置已經(jīng)廣泛用于攝像機和數(shù)字靜態(tài)照相機等。噪聲減少以及靈敏度改善是這些固態(tài)成像裝置共同的重要問題。具體地講,在沒有光的狀態(tài),沒有由入射光的光電轉換產生的信號電荷,光接收表面的基板界面存在的細微缺陷產生的電荷(電子)被當成信號成為微電流并被檢測為暗電流,或者,以在光接收部分和上層膜之間的界面的界面態(tài)為發(fā)生源的暗電流,這些暗電流是...
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