技術(shù)編號：7155597
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及包括基材和形成在該基材上的電路元件的半導(dǎo)體裝置。 背景技術(shù)在半導(dǎo)體裝置的制造工藝中，例如在由硅構(gòu)成的晶片上以格子狀形成分割預(yù)定線，在由分割預(yù)定線區(qū)分的各個區(qū)域中形成IC或LSI等電路元件。然后，沿著分割預(yù)定線對形成有電路元件的晶片進(jìn)行分割，從而制造半導(dǎo)體裝置。 這樣制造出的半導(dǎo)體裝置被廣泛使用于各種電子設(shè)備中。電子設(shè)備具有用于將被供給的電能轉(zhuǎn)換為動能、熱能、光能等的晶體管或二極管等被稱為功率裝置的半導(dǎo)體裝置。近年來，為了電子設(shè)備的節(jié)能化，控制功率...
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