技術編號:7153747
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及半導體,尤其涉及一種氧化物半導體薄膜晶體管與顯示>J-U ρ α裝直。背景技術氧化物半導體薄膜晶體管TFT是透明非晶氧化物半導體TFT(TAOS-TFT)的代表,被視為新一代顯示器用薄膜晶體管(TFT)最有希望的候補技術。近來將其應用于柔性顯示器的開發(fā)成果接連不斷。 一般制備TFT驅動基板的透明金屬氧化物材料為IGZ0(indium gallium zincoxide)為銦鎵鋅氧化物。IGZO制備的TFT基板在空氣中穩(wěn)定性較差,對氧氣和...
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