技術(shù)編號：7153456
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。具體地，本發(fā)明涉及一種通過用激光束照射多晶半導(dǎo)體膜或非晶半導(dǎo)體膜來形成結(jié)晶半導(dǎo)體膜的裝置和方法，其中使用一塊移相掩模版來調(diào)整該激光束的相位。背景技術(shù) 通常情況下，用于例如控制施加到液晶顯示器(LCD)的像素上的電壓的開關(guān)元件的薄膜晶體管(TFT)的材料大致分為非晶硅和多晶硅。多晶硅的電子遷移率高于非晶硅的電子遷移率。因此，如果晶體管由多晶硅形成，則它的開關(guān)速度高于由非晶硅形成的晶體管的開關(guān)速度，這帶來的優(yōu)點是顯示器的響應(yīng)速度可以提高并且可以...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。