技術編號：7149605
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及電子器件加工制造，具體涉及一種多路靜電釋放保護器件。背景技術隨著集成電路工藝的不斷發(fā)展，晶體管尺寸已經(jīng)縮減到亞微米甚至深亞微米階段。器件物理尺寸的減小，大大提高了電路的集成度，但是高集成度器件的可靠性問題也隨之而來。ESD (electro-static discharge,靜電釋放)就是引起電子設備與元器件失效的最主要原因之一。這主要是因為，隨著元器件尺寸的縮小，例如場效應元件的柵極氧化層厚度逐漸變薄，這種變化雖然可以大幅度的提高電路的工作效率...
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