技術(shù)編號(hào):7148572
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于制造適合抓握,特別地適合使用至少一種微技術(shù)、微電子學(xué)或清洗步驟的柔性結(jié)構(gòu)的方法。本發(fā)明還涉及中間結(jié)構(gòu)和柔性結(jié)構(gòu)。所述制造方法和柔性結(jié)構(gòu)可以特別地應(yīng)用于柔性、微、微電子領(lǐng)域、柔性電子領(lǐng)域如芯片卡、智能紡織品,并且特別地用于制造應(yīng)變計(jì)。背景技術(shù)柔性要求在由單晶材料組成的,具有例如小于5微米厚度的彈性可變形薄膜上或其中形成電子器件。目前,單晶材料的柔性膜不是如此非常地合適,并且柔性膜(如果它們存在或不使用任何支持物制造的話),對(duì)于能夠容易地操作(特...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。