技術(shù)編號(hào)：7148247
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在薄膜電容器等中在顯示高可調(diào)諧性的同時(shí)能夠降低介電薄膜的介電損耗并保持優(yōu)異的漏電流特性的形成介電薄膜的組合物、形成介電薄膜的方法及通過所述方法形成的介電薄膜。在本說明書中，“可調(diào)諧”是指響應(yīng)于施加電壓的變化而改變靜電電容的能力，而“可調(diào)諧性”是指靜電電容的可變性或變化的速率。背景技術(shù)薄膜電容器由上電極、下電極和在上述電極之間形成的介電層組成，薄膜電容器作為可變電容元件(可調(diào)諧元件)被用于高頻可調(diào)諧裝置，例如高頻過濾器、高頻天線和相移器。薄膜電容器...
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