技術(shù)編號：7148012
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及。技術(shù)背景隨著微機械加工技術(shù)的進步，在光學(xué)領(lǐng)域MEMS器件得到了越來越廣泛的應(yīng)用。對 于光學(xué)MEMS器件，微型條帶是其最基本的結(jié)構(gòu)之一。微型條帶的表面狀況(平整度和顆粒 度)是微加工過程的重要指標，因此為獲得較優(yōu)的光學(xué)性能，需獲得表面平整、顆粒較少的 清潔表面，以便于后續(xù)工藝(如金屬膜層淀積)的進行。通常的表面處理以濕法清洗為主，研究多集中于對清洗液的成分、清洗工藝的改 進等方面。對于濕法以外的研究較少，專利號為7...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。