技術(shù)編號(hào):7147976
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及通過(guò)向半導(dǎo)體晶片等基板供給處理液從而對(duì)該基板進(jìn)行處理的基板處理方法以及根據(jù)該方法對(duì)所述基板進(jìn)行基板處理的基板處理系統(tǒng)。背景技術(shù)以往,已知有如專利文獻(xiàn)I公開(kāi)的基板表面處理裝置。在該基板處理裝置中,向?qū)Π雽?dǎo)體等的基板進(jìn)行處理的處理裝置(旋轉(zhuǎn)涂布機(jī),spinner)供給處理液,進(jìn)行基板的蝕刻處理。然后,回收該處理廢液將其再利用于該基板的處理。并且,根據(jù)回收的處理廢液的液中的成分濃度的變化補(bǔ)給新的處理液。例如,使用含有氫溴酸的蝕刻處理液作為處理液的情況時(shí)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。