技術(shù)編號：7147954
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，特別地講，本發(fā)明涉及用于加工形成在基片特別是半導(dǎo)體晶片的表面上的導(dǎo)電材料、或用于去除粘著在基片表面上的雜質(zhì)的。本發(fā)明還涉及一種用于固定離子交換器的方法和結(jié)構(gòu)，其可以在用于加工形成在基片特別是半導(dǎo)體晶片的表面上的導(dǎo)電材料或用于去除粘著在基片表面上的雜質(zhì)的電解加工中被使用；此外，還涉及一種設(shè)有這種離子交換器固定結(jié)構(gòu)的電解加工裝置。背景技術(shù) 最近幾年，除了利用鋁或鋁合金作為在諸如半導(dǎo)體晶片等基片上形成互聯(lián)電路的材料以外，有一個顯著趨勢是使用具有低...
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