技術(shù)編號(hào)：7146088
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于新型硅材料領(lǐng)域，具體涉及一種。技術(shù)背景近十年來，人們對于在硅中摻入超飽和的硫系元素(硫、硒或碲)后形成的新型硅材料產(chǎn)生了濃厚的研究興趣，這是因?yàn)檫@種新型硅材料在紅外區(qū)域(波長大于I. Ιμπι) 有很強(qiáng)的光吸收，而這一優(yōu)異特性將使硅基紅外探測器成為可能。1998年哈佛大學(xué)的艾瑞克 馬祖(Eric Mazur)教授和他領(lǐng)導(dǎo)的研究小組在六氟化硫氣氛中，使用飛秒激光掃描娃表面，意外地形成了一種新型硅材料，它的表面層內(nèi)硫的摻雜濃度達(dá)到102°cm_3數(shù)量...
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