技術(shù)編號：7145639
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及液晶制作，特別是涉及一種。背景技術(shù)薄膜晶體管(TFT,Thin Film Transistor)是陣列基板的重要元件之一,薄膜晶體管技術(shù)是液晶顯示技術(shù)的核心，對液晶顯示器的質(zhì)量有著重大的影響。在薄膜晶體管的制作工藝中，一般經(jīng)過清洗、成膜、光刻、檢查修復(fù)等過程，其核心工藝是光刻，主要有涂光刻膠、曝光、顯影、蝕刻、剝離等環(huán)節(jié)。在基底上制作薄膜晶體管的金屬走線時，由于銅的電阻率較小，更適合用于制作大尺寸液晶顯示裝置的金屬線電路，因此一般采用銅材料制作薄...
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