技術編號：7145542
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及太陽能電池領域，尤其涉及。背景技術在目前的太陽能電池市場上以晶體硅太陽能電池為主，發(fā)展的趨勢是在減少生產(chǎn)成本的同時進一步提高太陽能電池的轉換效率。目前提高太陽能電池轉化效率主要通過兩個方面來實現(xiàn)一方面是均勻太陽能電池表面的雜質濃度；另一方面是降低太陽能電池片的PN結結深。在太陽能電池片的制作過程中，太陽能電池表面的雜質濃度和太陽能電池片的PN結結深主要取決于擴散工藝步驟。傳統(tǒng)的太陽能電池片的制作過程采用的擴散工藝一般為在恒溫條件下進行干法氧化擴散...
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