技術(shù)編號：7143136
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，尤其是涉及。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)的退火工藝，主要工藝條件為退火過程中石英管通入氮氣加鹽酸的氣體，目的是為了去除爐管內(nèi)及單晶表面金屬離子，提高退火壽命，此方法對于提高單晶少子壽命有一定效果，但也存在不足退火過程對環(huán)境的要求較高，長期通入HCL氣體造成設(shè)備及廠房多處嚴重腐蝕，給設(shè)備維護保養(yǎng)造成很大困難，同時爐管附件的鐵銹等會在開爐時進入爐管造成二次沾污，單晶少子壽命又會受影響；另外，長期處于鹽酸氣氛環(huán)境中，對于操作人員的健康也有極大損害。...
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