技術(shù)編號(hào)：7141940
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)不會(huì)污染半導(dǎo)體晶片的陶瓷加熱器。背景技術(shù)半導(dǎo)體設(shè)備經(jīng)由包括在半導(dǎo)體晶片上涂布作為抗蝕劑的光敏樹脂并蝕刻未涂布區(qū)的方法制成。當(dāng)光敏樹脂利用旋轉(zhuǎn)涂布器等裝置以液體形式施加到半導(dǎo)體晶片的表面時(shí)，它必須在涂布后干燥，使溶劑等散發(fā)，因此這樣涂布的半導(dǎo)體晶片要置于加熱器上加熱。迄今用于該目的的常規(guī)金屬加熱器包括置于一塊鋁板背面的加熱元件。然而，這樣的金屬加熱器具有以下缺點(diǎn)。首先，因?yàn)樗薪饘俨牧希约訜崞靼灞仨毢襁_(dá)大約15毫米。這是因?yàn)楸?..
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